ルビジウム飽和吸収を用いた780nm帯DBR周波数安定化レーザの開発と変位計測への応用

抄録

近年、精密加工分野における工作機械などの分野では、nm以下の位置決め高精度化の要求が高まっている。レーザ干渉計はその光源の周波数が安定でかつメートル定義で校正されればこのような分野で、大変有効なツールになる。この研究では、780nm帯半導体レーザ（DBRレーザ）に正弦波周波数変調を加え、その周波数をルビジウム飽和吸収を用いてロックし、さらに変位計測を行ったので報告する。