精密工学会学術講演会講演論文集
2017年度精密工学会春季大会
セッションID: D38
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空気屈折率測定用可変長真空チャンバの設計と位相変調干渉計の適用
*長谷川 文唯DUONG Quang Anh篠原 潤韋 冬明田川 正人
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抄録
光干渉計で測定した光路長は、空気屈折率×幾何学長なので、空気屈折率の影響が混入する。空気屈折率高精度測定が必要である。空気屈折率は干渉計において真空光路差と空気光路差の比較より決定できる。本報では、この光路差が比較可能な可変長真空チャンバの提案を行う。また干渉計光源として電気光学変調器(EOM)による位相変調法を使用した周波数安定化レーザダイオードを利用するとともに位相変調法による変位測定を行う。
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© 2017 公益社団法人 精密工学会
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