分長の考え方を応用した真直形状測定に関する研究（第2報）

ラージスケールとショートスケールの形状測定の組み合わせ

抄録

案内面移動誤差と表面形状を分離する多くの誤差分離法が提案されている。近年、長尺物の表面形状測定が必要とされているが、サンプリング点数が大きくなると偶然誤差の影響が大きくなる。かつて、長い間隔の目盛から短い間隔の目盛を作るために分長という高精度維持法が用いられていた。著者らはこの考え方を表面形状測定に応用し既に解析を行った。本報では実験を行い提案する方法が誤差伝播を減少させるのに有用であると示した。