MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第7報） 矩形梁採用による感度向上とその構造解析

本永 聡一朗; 是永 遼介; 清水 浩貴; 田丸 雄摩

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_291

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: D46

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_291

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第7報）

矩形梁採用による感度向上とその構造解析

*本永聡一朗, 是永遼介, 清水浩貴, 田丸雄摩

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キーワード: MEMS, 多点法, マルチカンチレバー

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抄録

本研究は，等間隔に並べたカンチレバー式高分解能変位センサ3つと，次走査線上に配置したセンサ2つを一体化した多点法平面測定用MEMSデバイスを開発するものである．本デバイスは感度向上のため，応力検出部が存在するカンチレバー根元部に応力集中が効率的に生じるよう，矩形梁の採用と穴形状の付加を行った．本報では改良の定量評価のため行ったFEM解析の結果と，それを元に作製したデバイスについて報告する．

責任著者(Corresponding author)

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