高硬度脆性材料の超音波研磨加工に関する基礎的研究（第2報） サファイアに対する加工特性

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: A02

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

高硬度脆性材料の超音波研磨加工に関する基礎的研究（第2報）

サファイアに対する加工特性

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キーワード: 超音波, 研磨加工, サファイア

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抄録

高硬度脆性材料に対する超音波研磨特性について研究した．半径方向に周波数38kHz，振幅10μm程度で超音波振動するダイヤモンド電着砥石を製作し，同砥石を回転させ，サファイア試験片を平面研摩した．その結果，加工量，切りくず性状，研磨面などの加工特性を明らかにした．