超短パルスレーザ加工の表面科学

レーザ照射に伴う金属表面の分析

抄録

超短パルス発振レーザによる材料加工の研究が注目されている。産業応用はまだ緒に就いたばかりで生産性との絡みで課題もあるが、水面下では多くの模索がなされている。極短のパルス発振レーザによる加工の有効性を検証するには、加工の詳細な分析が必要である。金属を中心にフェムト秒レーザによる材料照射で生じる表面分析を通してその一端を明らかにする。