赤外フェムト秒レーザーによるシリコンの内部加工の試み

空間光位相変調器による収差補正

抄録

我々はシリコンの赤外光透過特性に着目し、シリコンの超短パルス赤外レーザーによる三次元加工を提案している。しかし、シリコンは屈折率が高く、内部に集光すると収差の影響により、集光点がずれてしまう。補正環付対物レンズにより収差の補正を行ってきたが、任意の集光位置への収差の補正ができない。そこで、空間光位相変調器を用いて、収差の更なる補正を行い、シリコンの内部への加工を試みた。