界面導電性評価による化学研磨由来水和層の評価

抄録

ガラスの研磨において、化学反応性に由来する水和層の生成は、研磨メカニズムの解明や新規研磨材の開発にとって極めて重要である。しかし，研磨過程における水和層の生成を定量的に評価した例はない。これまで我々は，研磨過程におけるガラス／水界面導電性の評価により、この界面で生成する水和層を定量的に評価できることを明らかにした。本発表では，研磨材と生成する水和層の関係を定量的に検討した結果について報告する。