エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第27報） エバネッセント光による面内形状制御性の解析

松本 侑己; 鈴木 裕貴; 道畑 正岐; 高増 潔; 高橋 哲; 工藤 宏人

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_513

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: G44

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_513

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第27報）

エバネッセント光による面内形状制御性の解析

*松本侑己, 鈴木裕貴, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲, 工藤宏人

著者情報

キーワード: エバネッセント光, マイクロ光造形, 三次元プリンタ

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抄録

サブマイクロメートルの加工分解能を持つ高速3次元造形法を実現するため，本研究ではエバネッセント光を用いた光造形法を提案している．前報では，溶存酸素を除去した樹脂を用いることで本手法による単層硬化物の面内分解能の向上が確認された．本報では，結像型エバネッセント光による面内分解能の解析を行った．この結果は，Sub-μmでのエバネッセント光による面内形状制御性の可能性を示唆した．

責任著者(Corresponding author)

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