フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究（第3報）

マイクロ球に対するレーザ照射条件の検討

抄録

フォトニックナノジェットは直径数ミクロンの誘電体球にレーザ光を照射することで発生するビームであり，そのビーム径は入射光波長の半分程度，ビーム長さは入射光波長の数倍である．フォトニックナノジェットの強度分布はマイクロ球に対するレーザ照射条件で制御することが可能である．レーザ照射条件によって強度分布を制御することで，サブミクロンスケールの微細加工が可能であることを実証した．