大径の金属粉末を用いた高性能ラップ工具の開発

抄録

硬脆材料の粗研磨工程には，ラッピング加工が採用されており，製造コスト低減のために工作物を平坦で異方性のない梨地面に早く仕上げることが求められている．砥粒の滞留性を高めるラップ工具を使用することにより，砥粒と工作物の相対速度が上がり高い研磨能率が得られる．本研究では，大径の金属粉末を含有したラップ工具を開発し、工具表面に形成される凹凸が研磨特性に与える影響を調べ，結果を報告する．