精密工学会学術講演会講演論文集
2017年度精密工学会春季大会
セッションID: I16
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自転/公転型研磨スポットの理論検証
*林 偉民王 賀
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抄録
提案した自転/公転型研磨法の理論解析を進め、研磨スポットの計算値と実験地の比較を行った。
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