大気圧プラズマ援用クーラントシステムの開発 PCDボールエンドミルによるSiCの高品位加工への適用

天野 慎一郎; 片平 和俊; 亀山 雄高

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_647

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: I15

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_647

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

大気圧プラズマ援用クーラントシステムの開発

PCDボールエンドミルによるSiCの高品位加工への適用

*天野慎一郎, 片平和俊, 亀山雄高

著者情報

キーワード: 炭化ケイ素, 大気圧プラズマ, 多結晶ダイヤモンド, 超精密加工

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抄録

本研究では，大気圧プラズマジェットを加工点にピンポイントで照射することにより，加工中のクーラント効果を促進させ，微細ダイヤモンド工具の加工性能を向上させることを試みた．窒素ガスベースの大気圧プラズマ援用クーラントを使用し，PCDボールエンドミルによりCVD-SiCのミーリング加工を行った結果，Raで1.7nmという高品位な加工面が得られた．本手法を用いることにより，工具表面の付着物の抑止に甚大な効果があることが確認できた．

責任著者(Corresponding author)

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