窒化ジルコニウムをベースとする多元系セラミック薄膜の開発

抄録

セラミック硬質膜は，切削工具および摺動部材の耐摩耗膜として応用されている．本研究では，機械的特性・熱的特性に優れる硬質膜の開発を目的として，シリコンとアルミニウムを含有した窒化ジルコニウムをベースとする多元系セラミック薄膜を高周波マグネトロンスパッタリング法により作製し，添加元素が窒化ジルコニウムの薄膜硬度・摺動特性・耐酸化性に与える効果を検証した．