チタン酸バリウム薄膜創製における第一原理計算により探索されたBサイト添加元素の影響評価

抄録

MEMS分野における圧電材料の実装では，薄膜化による圧電性の大幅な低下が問題となる．よって圧電薄膜のさらなる高機能化が必要とされているが，一般化された機能向上手法は確立されていない．本報では圧電薄膜の定量的な高機能化手法の確立を目的とし，スパッタリング法によりチタン酸バリウム薄膜の創製を行い，第一原理シミュレーションにより定量的に探索された添加元素が薄膜に与える影響を評価した．