MCF（磁気混合流体）スラリーを用いたジルコニアの精密研磨 超音波噴霧を利用した水分供給によるMCFスラリー使用寿命の向上

牧田 直也; 呉 勇波; 藤井 達也; 野村 光由

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_811

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: M37

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_811

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

MCF（磁気混合流体）スラリーを用いたジルコニアの精密研磨

超音波噴霧を利用した水分供給によるMCFスラリー使用寿命の向上

*牧田直也, 呉勇波, 藤井達也, 野村光由

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キーワード: 磁気混合流体, ジルコニア, 精密研磨

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抄録

機能性硬脆材料のジルコニアは，高硬度・耐摩耗性・耐熱性に優れ，精密機械の製作に欠かせなくなっている．先行研究より，硬脆材料の研磨にMCF研磨法を適用すると，MCFキャリアの高速回転に起因する遠心力や加工熱による水分蒸発のため，MCFスラリーの使用寿命が低下することが明らかとなっている．本報では，超音波噴霧を利用した水分供給システムを新提案し，MCFスラリーの使用寿命を実験的に調査した．

責任著者(Corresponding author)

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