エポキシ樹脂研磨パッドを用いた高速研磨の実現

抄録

研磨加工では高能率、低予算で高品質かつ高精度の生産をすることが求められている。また、今日の生産現場において、研磨加工はさまざまな機械部品の最終工程で用いられている。ガラスはテレビ、カメラ、携帯電話、自動車などの日本を支える先端産業に用いられている。そこで高速研磨することで研磨時間を短縮できる研磨技術の開発が必要である。本研究では高速研磨に適した研磨パッドを作製し、加工特性を調査し、これを報告する。