SnO2薄膜によるガスセンシング性能とピエゾ抵抗特性評価

方 チー; 上木 瞭太郎; 福井 類; 山口 武司; 佐藤 真; 越後谷 天恒; 三田 吉郎; 山田 一郎; 割澤 伸一

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_833

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: N09

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_833

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

SnO₂薄膜によるガスセンシング性能とピエゾ抵抗特性評価

方チー, *上木瞭太郎, 福井類, 山口武司, 佐藤真, 越後谷天恒, 三田吉郎, 山田一郎, 割澤伸一

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キーワード: 酸化スズ, ガスセンシング, ピエゾ抵抗効果

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抄録

酸化スズ（SnO₂）はアセトンなどの還元性ガスを暴露すると抵抗値が変化し，同様にピエゾ抵抗特性も持つことから歪みに対しても抵抗値が変化する．この二つの特性は高性能なセンサの開発が求められているガスセンサには重要な要素となる．本研究では還元性ガス暴露の感度を向上させるためSnO₂にプラチナ触媒を使用しガス暴露時の特性を評価し，ピエゾ抵抗特性の向上が期待されるアニール処理後のSnO₂に関しても評価を行った．

責任著者(Corresponding author)

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