ナノインプリント技術開発動向（キーノートスピーチ）

抄録

1995年にプリンストン大のChou教授によって提案されて以来、ナノインプリントリソグラフィはハードディスクやLSI、フォトニックデバイスなどへの応用を見据えて、高い関心を集めてきた。量産装置開発の進展に伴い、次世代の産業への貢献に対する期待が高まっている。本講演では、ナノインプリント技術の研究課題と現状について紹介する。