白金触媒AFMプローブを用いたナノ化学加工技術の開発（第4報）

純水中でのZnO単結晶の局所電気化学エッチング

抄録

本研究では，加工対象である固体表面と雰囲気物質（液体）の化学反応を触媒によって促進し，かつ当該反応をナノ空間内に制御することで，位置選択的な材料除去（化学エッチング）を実現するナノ加工技術の開発を目的としている．本報では，Pt触媒を被覆した原子間力顕微鏡（AFM）プローブを用いた水中でのZnO単結晶の電気化学的除去加工の可能性を検討した．電圧印加効果の影響を調査し，加工メカニズムを考察した．