リソグラフィ技術を用いた梁集合体を有する双極型静電チャックモジュールの開発

抄録

梁集合体を有する双極型静電チャックはプラスチックフィルム，布，レンズなどの曲率を持った誘電体を静電力により操作することを可能にする．既存研究では吸着面の大面積化に対応可能な造形法が未確立であった．本研究では、導体―誘電体―導体の三層を材料とし、ドライエッチングを用いたリソグラフィ技術による造形法で製作することにより、実現するモジュールのプロトタイプの性能評価を行い、提案手法の有効性を示す．