エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第26報） 多光束干渉によるミリオーダ領域のサブミクロン表面微細構造創製

鈴木 裕貴; 松本 侑己; 道端 正岐; 高増 潔; 高橋 哲; 工藤 宏人

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_859

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: N38

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_859

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第26報）

多光束干渉によるミリオーダ領域のサブミクロン表面微細構造創製

*鈴木裕貴, 松本侑己, 道端正岐, 高増潔, 高橋哲, 工藤宏人

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キーワード: エバネッセント光, 微細加工, マイクロ光造形, 多光束干渉造形, バイオミメティクス

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抄録

サブミクロンオーダの加工分解能を持つ高速3次元造形法を実現するため，本研究ではエバネッセント光を用いた光造形法を提案している．これまでの報告で，生物の持つ機能的な表面微細構造を模倣するため，複数の光束の干渉を用いて表面構造を一括で造形する手法を提案し，理論解析と基礎実験を進めてきた．本報では，ミリメートルオーダの加工領域でのサブミクロン表面微細構造創製について述べる．

責任著者(Corresponding author)

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