チタンとの高温化学反応を利用した単結晶ダイヤモンド表面への3次元微細構造転写

井本 祐司; 閻 紀旺

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_865

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: N44

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_865

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

チタンとの高温化学反応を利用した単結晶ダイヤモンド表面への3次元微細構造転写

*井本祐司, 閻紀旺

著者情報

キーワード: 単結晶ダイヤモンド, 3次元微細構造, チタン金型, 高温化学反応, 高温高圧条件

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

単結晶ダイヤモンド (Single-crystal diamond : SCD) は切削工具, エレクトロニクス, MEMS分野への応用が加速しているため, SCDへ高精度な機能性微細構造を大面積かつ高能率に付与可能な加工技術が求められている. 本研究では，表面に微細構造を付与したチタン金型を高温高圧下でSCDに接触させ, 化学反応により３次元微細構造を転写するプロセスに成功した. 本技術はSCDへの高精度・高能率な３次元微細加工プロセスとして期待できる.

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）