トランスファプリントによるAu/酸化グラフェン積層膜の微細構造作製

森 章洋; 案納 響平; 長橋 和人; 金子 新

doi:10.11522/pscjspe.2017S.0_867

2017年度精密工学会春季大会

セッションID: N45

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2017S.0_867

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2017年度精密工学会春季大会

開催日: 2017/03/13 - 2017/03/15

トランスファプリントによるAu/酸化グラフェン積層膜の微細構造作製

*森章洋, 案納響平, 長橋和人, 金子新

著者情報

キーワード: トランスファプリント, 薄膜, 酸化グラフェン

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抄録

トランスファプリント（TP）により微細構造を作製し，アクチュエータへの応用を試みている．本報告では，高いヤング率をもつ酸化グラフェン（GO）の分散液を塗布することで，Auの積層膜をスタンプ上に作製した．次いで，同積層膜を高分子基板上にTPすると，膜厚が65nm以下の場合には2次元パターン形成されるが，膜厚128nm以上ではスタンプの3次元形状に倣った高さ20μmの流路状の中空構造が作製された．

責任著者(Corresponding author)

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