非接触ナノ形状測定装置による非球面ミラーの形状測定

抄録

自由曲面、非球面形状を測定精度1 nm 以上で測定可能な測定法は、次世代高精度光学素子の製造に必要不可欠である。そこで我々は、光の直進性とゴニオメータの高精度回転を利用し、試料表面の法線ベクトルを検出することで表面形状を導出する非接触ナノ形状測定装置を開発した。本稿では、非接触ナノ形状測定装置の測定範囲と測定精度の関係を明らかにするため、非球面ミラーの測定範囲を変えて形状を測定した結果について報告する。