ポリマブレンドと物理テンプレートを用いた自己組織化周期構造の作製法

抄録

ポリマの自己組織化を利用した微細パターニングは、ボトムアップ型の微細加工技術の一つとして、注目されている。一方、ポリマブレンドに関する研究は古くから行われているが、ポリマブレンドを微細パターニングに応用した研究例は少ない。本研究では、ポリマブレンドにおいて自己組織化を行い、物理テンプレートによる誘導によってナノメートルスケールのピッチ及びシリンダ直径を持つ微細周期構造の作製法を提案する。