ニューラルネットワークを用いたAIによる知能研磨システムの提案

抄録

LEDやパワーデバイスのニーズが高い一方，これら基板の製造プロセスに用いられるCMPには未解明な部分が未だ多く残されている．本研究ではAIを用いることによって研磨装置を知能化し，適切な研磨条件を自動決定できるシステムの開発を目的とする．本報告ではコンディショニングと研磨パッド表面性状，および研磨レートの関係に着目し，ニューラルネットワークを用いたコンディショニング条件の推定手法を検証した結果を述べる．