シリコンウェーハ研磨におけるスラリー中のアルカリ種と研磨性能との関係調査

抄録

シリコンウェーハ研磨用スラリーは、主に砥粒とアルカリで構成されている。アルカリはシリコンウェーハに対して化学的研磨作用を有することが知られており研磨促進剤として用いられている。本研究では、このアルカリに着目してアルカリ種と研磨性能との関係を調査し、特に、一般的に研磨促進剤として用いられるアミンにおいて化学構造の違いにより様々な研磨性能を示すことを見出した。