シミュレーテッドインダクタを用いた超音波振動子の共振周波数動的制御

抄録

本研究グループでは圧電体のスティフネスの変化を利用し，振動子に組み込んだ共振周波数制御用圧電体の境界条件をFETに制御することによる，共振周波数の動的制御を考案した．本稿ではより大きな共振周波数制御範囲を得るため，外部信号によりインダクタンス値が制御されるシミュレーテッドインダクタを設計した．これを振動子に接続することによって，より大きな制御範囲が得られることが計算により確認された．