押付力発生機構を有する小型超音波モータの開発（第二報）

トルク特性の検証および共振周波数測定手法の検討

抄録

本研究では小型超音波モータの性能向上を目的としている．これまでに開発されたTRモータ（回転直動型圧電アクチュエータ）に対し，回転子と振動子の接触状態を一定に維持した押付力を発生させる内部機構を追加した．本報告では押付力の変化に対する回転速度およびトルク特性を明らかにした．また，一般的な進行波型超音波モータに使用されているFB電圧による共振周波数測定手法を本小型超音波モータに対して導入することを検討した．