スペックルを低減した内面形状計測による摩耗深さの検出

抄録

スペックルを低減した滑らかな光セクショニング画像から自動車トランスミッションにおけるバルブボディの小孔の摩耗深さ計測を実証した。直径12.75 mmの小孔を死角なく内面形状計測するために、円錐ミラーと光ファイバーコリメーターからなるリングビームデバイスを180°回転させて、小孔内を2度の1軸走査から小孔内面の三次元形状計測を行った。小孔の三次元点群データから88 μmの摩耗深さと50 μmの傷の検出が可能となった。