回折限界を超えた三次元形状の動的現象を解析するためのスペックル干渉計測法

抄録

スペックル干渉計測法を用いた三次元形状計測技術が報告されている．この手法を用いると回折限界を超える周期構造の三次元形状を測定することが報告されている．本研究では，この技術を動的現象の測定に用いることができる新たな技術へと発展させている．