微細形状測定用ファイバスタイラスの製作

接触子の高機能化および耐久試験

抄録

微細金型や半導体，超精密機器，光通信機器，MEMSなどの微細加工技術の進歩に伴い，微細形状を測定する重要性は増加している．そこで，極小径の光ファイバプローブを用いることによる低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする．本報では，表面間力による測定対象面への付着防止を目的とした接触子への撥水コーティングの性能試験およびスタイラス耐久試験の結果について述べる．