ナノスケールにおける加工現象可視化に関する研究-第4報：縦分解能の検討

抄録

ナノスケールにおける加工現象として，ナノ粒子を用いたポリシング加工がある．ポリシング加工のナノ粒子の挙動を観察し，ナノ粒子による加工現象を解明することを目的としている．そこで本研究では，表面上近傍に局在するエバネッセント光を用いた実時間計測を行っている．表面近傍にある既知のナノ単粒子に多波長エバネッセント光を当て，その散乱強度から深さ位置を調べ，分解能について検討したので，ここに報告する．