主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2018年度精密工学会春季大会
開催地: 中央大学
開催日: 2018/03/15 - 2018/03/17
p. 131-132
ブロードスペクトル光源による干渉計は走査機構が必要であるので、高精度ステージが必要であるが、これに対して、前回発表した分光干渉法は簡単である外に、多くの特長がある。しかしながら、光周波数コムなどの波長領域では、近赤外線用のアレーセンサーが必要になるので、コストの点でメリットがない。この場合、回折格子を回転させることによって、この問題を解決できることを示した。今回は、新しく開発した分光干渉法によるデータの解析法を示すと共に、光周波数コムを用いた長さ・距離測定用干渉計による実験結果や光ファイバーの温度特性などの実験結果につて報告する。