精密工学会学術講演会講演論文集
2018年度精密工学会春季大会
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分光干渉法による絶対空間位置の計測技術(その2)
*松本 弘一高増 潔
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p. 131-132

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抄録

ブロードスペクトル光源による干渉計は走査機構が必要であるので、高精度ステージが必要であるが、これに対して、前回発表した分光干渉法は簡単である外に、多くの特長がある。しかしながら、光周波数コムなどの波長領域では、近赤外線用のアレーセンサーが必要になるので、コストの点でメリットがない。この場合、回折格子を回転させることによって、この問題を解決できることを示した。今回は、新しく開発した分光干渉法によるデータの解析法を示すと共に、光周波数コムを用いた長さ・距離測定用干渉計による実験結果や光ファイバーの温度特性などの実験結果につて報告する。

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© 2018 公益社団法人 精密工学会
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