微空間での熱収支を利用した平滑面欠陥検出に関する研究

熱検知センサプローブの構築と基礎特性評価

抄録

マイクロメートルサイズの熱検知素子を，測定対象の平滑面に近接することで創成する微空間での熱収支変化を検知することで，平滑面上の微小欠陥の存在を検出する手法を提案している．本報では，表面欠陥検出実現に向け，熱検知素子を多軸駆動圧電素子に搭載し，これに熱検知素子-測定面間の相対傾斜を検出する光学式角度センサを組み込んだ熱検知センサプローブを構築するとともに，その基礎特性を評価した結果について報告する．