WGM共振を利用した微小球の直径計測（第9報）

半径モード番号の推定手法

抄録

近年、三次元座標測定機のプローブなどに用いられる微小球や球形状の物体の直径計測の精度への要求が高まってきている。本研究では微小球の高精度直径計測手法としてWhispering Gallery Mode（WGM）共振を利用した手法を提案している。本報では測定結果の精度に深く関わる半径モード番号の推定手法について報告する。