正弦波周波数/位相変調干渉計のための新しい復調法の提案および画像データへの応用

抄録

本研究では正弦波周波数/位相変調干渉計に対する新たな変位情報復調法を提案する。これらの干渉計では、変調周波数の高調波成分に変位情報が含まれ、通常、これらを高調波成分に同期した複数のロックインアンプで復調する。提案する手法では、干渉信号は、レーザ変調周波数に同期させたデータ収集システムによって取得される。得られたデータを四則演算によって信号処理することにより所望の変位情報を得ることができる。