角度測定に基づく三次元形状測定システムの開発

抄録

物体表面の局部傾斜角度測定に基づいた形状測定機（SDP）をこれまでに開発した。SDPの問題点として，測定が二次元形状（ライン形状）に限られるという点が挙げられる。そこで，測定対象を回転させ、放射状に形状測定したラインプロファイルから面形状を算出する三次元形状測定システムを開発した。本報は、実際に開発した装置およびその測定システムについて報告する。