光コムパルス干渉計を用いた三次元測定機の高精度検査手法（第2報） 光コムプローブによる三次元測定機の検査

原 昌平; 高村 智彦; ウィナルノ アグスティヌス; 高橋 哲; 松本 弘一; 高増 潔

doi:10.11522/pscjspe.2018S.0_149

2018年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2018S.0_149

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2018年度精密工学会春季大会

開催地: 中央大学

開催日: 2018/03/15 - 2018/03/17

光コムパルス干渉計を用いた三次元測定機の高精度検査手法（第2報）

光コムプローブによる三次元測定機の検査

*原昌平, 高村智彦, ウィナルノアグスティヌス, 高橋哲, 松本弘一, 高増潔

著者情報

キーワード: 三次元測定機, 光周波数コム, 検査, ボールレンズ

会議録・要旨集フリー

p. 149-150

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抄録

三次元測定機は機械部品等の三次元形状を測定するために産業で広く利用されており，その性能は定期的に検査される必要がある．従来はステップゲージなどを用いて検査を行っていたが，製造・時間の面で問題を抱えていた．そこで本研究では，光コムを光源とするパルス干渉計により三次元測定機を高精度に検査することを目的とする．この発表では，高速な検査を可能とする，光コムプローブという構造を用いて検査した結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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