非接触三次元形状測定装置の開発

抄録

レンズ・ミラー等光学素子の面形状を高精度に測定する技術は常に技術革新がなされている開発課題である。そこで我々は新たに非接触三次元形状測定装置PSMを開発した。本装置はレーザー光を測定面に照射しその反射光から測定面各点の傾斜角度を測定する事で高精度な形状算出を実現させた。本報では測定原理、各種補正機構とその性能評価、各種レンズ・ミラーの実形状測結果、測定再現性評価結果について報告する。