パルス状電圧印加による導電性ポリマーの電気化学重合と微細構造作製

抄録

電気化学重合により導電性ポリマーであるポリピロール（PPy）の微細構造を作製している．本報告では，印加電圧をパルス状にすることで，異方的で均一なPPy成膜を試みている． 1Vの定電圧で成膜すると，マスク側壁に沿った不均一なPPyが成膜される．一方で，周波数0.064Hz，Duty比3.2%のパルス状電圧を印加して成膜すると，非マスク領域で均一かつ垂直方向にPPyが成膜できることを明らかにした．