ガラスのピコ秒パルスレーザ溶接において溶融領域がガラスの接合強度に及ぼす影響

抄録

ピコ秒パルスレーザ光をガラス内部の微細スポットに集光してガラス同士を溶融接合する微細溶接において，形成される溶融領域がガラスの接合強度に及ぼす影響について検討した．レンズの開口数やパルスエネルギー，走査速度は溶融領域の形成に大きな影響を及ぼし，開口数が大きくなるほど安定して溶融領域の形成が可能であった．また，クラックの生じない安定した大きい溶融領域を形成することで高い接合強度が得られた．