回転楕円軟X線ミラー内面形状修正法の開発

ミラー内面修正性能の評価

抄録

回転楕円ミラーは軟X線を内面で反射させ、色収差無く高効率に集光できる光学素子である。現在PV 100 nm 未満の反射面形状精度を持つミラーの作製が実現しているが、回折限界集光にはPV 10 nm 未満の精度が必要となる。本研究ではイオンビームスパッタ成膜法を用いてミラー上に任意の厚さの膜を形成する形状修正手法を開発した。本発表ではシステムの構成、膜表面粗さの評価、成膜実験結果について報告する。