大気圧プラズマ援用クーラントシステムの開発

ナノ多結晶ダイヤモンド工具によるCVD-SiCの高品位加工への適用

抄録

本研究では，大気圧低温プラズマジェットを加工点にピンポイントで照射することにより，加工中のクーラント効果を促進させ，ナノ多結晶ダイヤモンド工具の加工性能を向上させることを試みた．窒素ガスベースの大気圧プラズマ援用クーラントを使用し，ナノ多結晶ダイヤモンドボールエンドミルによりCVD-SiCのミーリング加工を行った結果，加工面のチッピングを抑制することが確認された．