ラマン分光によるサファイア内レーザ微細加工部の残留応力分布計測

抄録

レーザを用いたサファイアの精密・高品位加工のために、加工損傷の定量評価技術を開発した。ラマン散乱分光を用いて、ラマンピークシフトから残留応力（歪み）を推定する。0.01cm^-1オーダのシフト検出のためにピークフィッティングによるサブピクセル検出を用いる。共焦点顕微ラマンによる測定点掃引によって残留歪みの3次元分布の計測を行う。本手法による超短パルスレーザ微細加工部の計測特性の調査結果を報告する。