集束イオンビームにより形成された単結晶ダイヤモンド変質層の深紫外ラマン散乱（第3報）

深紫外光照射によるラマン散乱スペクトルの変化

抄録

FIB加工によって単結晶ダイヤモンド表面に変質層が形成される．本研究では，深紫外光励起の顕微ラマン分光法を用いて，加工変質層の構造変化の過程に着目する．Ar雰囲気で加工変質層のグラファイト化が観察された．ドーズ量を変化させることで，スペクトルの変化の様子に違いがあることが分かった．発表では，深紫外光照射によるスペクトルの変化の様子の違いから加工変質層の構造変化のプロセスについて考察する．