荷電粒子ビーム技術とナノメカニクス研究

抄録

高感度ナノセンシングデバイス実現に向け、その研究ツールとなる集束イオンビーム技術，電子ビーム技術を応用した3次元ナノ構造造形技術，振動計測技術に関する研究を行ってきた。これまで培ってきたそれら荷電粒子ビーム技術をベースとする加工，計測技術，そのセンシングデバイス応用について詳細に報告する。