集合梁構造を持つ双極型静電吸着装置による対象物離脱のための手先軌道の実験的検討

抄録

プラスチックフィルムや紙等の薄い軟材料を把持するデバイスとして、集合梁構造を持つ静電吸着装置が研究されているが、対象物体離脱時に残留電荷による離脱困難が懸念される。本研究では、並進及び回転による2軸の運動制御によって，静電吸着装置に手先軌道を与えることによる新たな静電チャック-把持対象物間の離脱方法を提案する。また、離脱時のフォースカーブ測定と動画観察によって離脱条件を検討する。