表面に凹凸形状を有する誘電体の把持・離脱を目的とした微細毛構造を持つ双極型静電吸着装置の配列密度に関する実験的検討

抄録

微細毛構造を持つ双極型静電吸着装置は表面に幾何形状を持つ物体に対しても把持力の維持が可能である．毛構造設計の際，把持力向上のため梁配列密度を増加させると凹凸等の形状に対し梁の引っ掛かり等の意図せぬ変形様式が起こりやすくなる．本研究では矩形波状表面に対し毛構造を持つ静電吸着装置の力－変位曲線測定と現象観察を基に考察を行うことでこれらを防止し，凹凸形状に応じた最適な梁配列密度決定への指針を示す．